تاریخ بروز رسانی: 17-04-1405
اقلام قابل سفارش همراه کالا : کانکتور و کابل ارتباطی مخصوص Pfeiffer به طول 3 متر
گیج وکیوم مدل PKR361 شرکت Pfeiffer Vacuum
گیج وکیوم مدل PKR361 از شرکت Pfeiffer Vacuum یک گیج وکیوم (فشارسنج خلأ) فول رنج (Full Range Vacuum Gauge) است که برای اندازهگیری فشار در سیستمهای وکیوم (خلأ) از فشار اتمسفر تا وکیوم بسیار بالا طراحی شده است.
این فشارسنج با ترکیب دو فناوری اندازهگیری، یعنی گیج پیرانی (Pirani Gauge) و گیج کاتد سرد (Cold Cathode Gauge)، امکان اندازهگیری پیوسته فشار را در محدوده **1000 تا 10⁻⁹ mbar** فراهم میکند. به همین دلیل، PKR361 یکی از گیجهای پرکاربرد در صنایع نیمههادی، تجهیزات پوششدهی، سیستمهای پمپ توربومولکولی، تجهیزات تحقیقاتی و سایر سیستمهای وکیوم صنعتی محسوب میشود.
نحوه عملکرد فشارسنج وکیوم PKR361 Pfeiffer
فشارسنج وکیوم فول رنج PKR361 از یک سیستم اندازهگیری ترکیبی (Combined Gauge) استفاده میکند که دو فناوری مستقل را در یک بدنه ادغام کرده است. این گیج دارای دو سنسور داخلی است.
سنسور پیرانی (Pirani Gauge)
گیج پیرانی در محدوده فشارهای بالاتر، از فشار اتمسفر تا حدود 10⁻² mbar عمل میکند. اساس عملکرد این سنسور بر هدایت حرارتی گاز است.
در داخل سنسور، یک فیلامان بسیار نازک از جنس تنگستن توسط جریان الکتریکی گرم میشود. هرچه تعداد مولکولهای گاز بیشتر باشد، انتقال حرارت از فیلامان افزایش یافته و دمای آن کاهش مییابد. با کاهش فشار، انتقال حرارت کمتر شده و فیلامان گرمتر باقی میماند.
مدار الکترونیکی گیج، تغییر مقاومت الکتریکی فیلامان یا توان لازم برای ثابت نگه داشتن دمای آن را اندازهگیری کرده و بر اساس آن فشار را محاسبه میکند.
در فشارهای پایینتر از حدود 10⁻² mbar، تعداد مولکولهای گاز به اندازهای کاهش مییابد که هدایت حرارتی تقریباً از بین میرود و دقت گیج پیرانی کاهش پیدا میکند. در این نقطه، سنسور دوم وارد مدار میشود.
سنسور کاتد سرد (Cold Cathode Gauge)
بخش کاتد سرد PKR361 بر اساس فناوری Inverted Magnetron کار میکند.
در این روش، میدان الکتریکی و میدان مغناطیسی باعث حرکت مارپیچی الکترونها شده و احتمال برخورد آنها با مولکولهای گاز افزایش مییابد. در اثر این برخوردها، مولکولهای گاز یونیزه شده و جریان یون تولید میشود. مقدار این جریان متناسب با فشار داخل سیستم بوده و مدار الکترونیکی آن را به مقدار فشار تبدیل میکند.
این سنسور در فشارهای پایینتر از حدود 10⁻² mbar فعال شده و اندازهگیری را تا حدود 10⁻⁹ mbar ادامه میدهد. از آنجا که در این روش هیچ فیلامان گرمی وجود ندارد، به آن گیج کاتد سرد گفته میشود.
دو سیستم اندازهگیری بهصورت کاملاً خودکار با یکدیگر ترکیب شدهاند و الکترونیک داخلی گیج، بدون نیاز به دخالت کاربر، در هر محدوده فشار مناسبترین سنسور را انتخاب میکند. در نتیجه، کاربر یک خروجی پیوسته و یکنواخت برای کل محدوده اندازهگیری دریافت میکند.
یکی از مهمترین تفاوتهای PKR361 با مدل PKR251، استفاده از نسخه High Current در بخش کاتد سرد است. این طراحی باعث میشود گیج در کاربردهای دارای وکیوم بالا و فوقالعاده بالا، پایداری بیشتری داشته باشد و برای اندازهگیریهای مداوم در این محدوده عملکرد مناسبتری ارائه دهد.
مزایای فشارسنج وکیوم PKR361 Pfeiffer
* پوشش کامل محدوده فشار از فشار اتمسفر تا وکیوم بسیار بالا با یک گیج
* ترکیب فناوری پیرانی و کاتد سرد در یک بدنه
* نسخه High Current با پایداری بیشتر در وکیوم بالا
* مقاومت مناسب در برابر ورود ناگهانی هوا نسبت به گیجهای کاتد گرم
* عدم وجود فیلامان در بخش کاتد سرد و در نتیجه کاهش احتمال آسیب در اثر تهویه ناگهانی سیستم
* خروجی آنالوگ لگاریتمی برای اتصال به کنترلرها و PLC
* طراحی فشرده، نصب آسان و قابلیت اطمینان بالا
کاربردهای فشارسنج وکیوم PKR361 Pfeiffer
* سیستمهای پمپ توربومولکولی
* تجهیزات پوششدهی (PVD و CVD)
* صنایع نیمههادی
* تجهیزات آنالیز سطح
* سیستمهای تشخیص نشتی (Leak Detection)
* تجهیزات تحقیقاتی و آزمایشگاهی
* صنایع فوتوولتائیک
* سیستمهای وکیوم صنعتی و تولیدی
تفاوت گیج وکیوم PKR251 و PKR361
گیجهای PKR251 و PKR361 هر دو از محصولات شرکت Pfeiffer Vacuum بوده و از نوع گیج وکیوم (فشارسنج خلأ) فول رنج (Full Range Vacuum Gauge) هستند. هر دو مدل با ترکیب دو فناوری پیرانی (Pirani) و کاتد سرد (Cold Cathode)، قابلیت اندازهگیری فشار از نزدیکی فشار اتمسفر تا وکیوم بسیار بالا را دارند.
مهمترین تفاوت این دو مدل در طراحی بخشکاتد سرد و کاربرد آنها در وکیوم بالا است. مدل PKR361 از نسل جدیدتر گیجهای فول رنج شرکت Pfeiffer بوده و در بخش کاتد سرد از طراحی High Current بهره میبرد. این ویژگی باعث میشود عملکرد گیج در محدوده وکیوم بالا و بسیار بالا پایدارتر باشد و برای کارکردهای مداوم در این محدوده، گزینه مناسبتری محسوب شود.
یکی از تفاوتهای ظاهری PKR361 نسبت به برخی مدلهای قدیمیتر، طراحی یکپارچه بخش کاتد سرد آن است. در این مدل، آهنرباهای مورد نیاز برای عملکرد سنسور کاتد سرد در داخل بدنه گیج یکپارچه شده و قرار گرفتهاند و برخلاف برخی گیجهای قدیمی، مگنت خارجی روی بدنه مشاهده نمیشود. این طراحی علاوه بر کاهش ابعاد، از مجموعه سنسور در برابر آسیبهای مکانیکی نیز محافظت میکند.
از سوی دیگر، PKR251 یکی از پرکاربردترین گیجهای فول رنج این شرکت است که در بسیاری از سیستمهای وکیوم صنعتی، تجهیزات پوششدهی، آزمایشگاهها و سیستمهای پمپ توربومولکولی عملکرد قابل اعتمادی ارائه میدهد.
به طور کلی، اگر کاربرد سیستم در محدودههای معمول وکیوم باشد، PKR251 انتخابی اقتصادی و مناسب است؛ اما در کاربردهایی که اندازهگیری پایدار در وکیوم بالا و کارکرد طولانیمدت اهمیت بیشتری دارد، PKR361 به دلیل طراحی بهروزتر و بخش کاتد سرد High Current، گزینه بهتری خواهد بود.
