تاریخ بروز رسانی: 17-04-1405
اقلام قابل سفارش همراه کالا : کانکتور و کابل ارتباطی مخصوص Pfeiffer به طول 3 متر
گیج وکیوم مدل PKR261 شرکت Pfeiffer Vacuum
گیج وکیوم مدل PKR261 از شرکت Pfeiffer Vacuum یک گیج وکیوم (فشارسنج خلأ) فول رنج (Full Range Vacuum Gauge) است که برای اندازهگیری فشار در سیستمهای وکیوم (خلأ) از فشار اتمسفر تا وکیوم بسیار بالا طراحی شده است.
این فشارسنج با ترکیب دو فناوری اندازهگیری گیج پیرانی (Pirani Gauge) و گیج کاتد سرد (Cold Cathode Gauge)**، امکان اندازهگیری پیوسته فشار را در محدوده 1000 تا 10⁻⁹ mbar فراهم میکند. به همین دلیل، PKR261 یکی از گیجهای پرکاربرد در صنایع نیمههادی، تجهیزات تحقیقاتی، شتابدهندههای ذرات، سیستمهای آنالیز سطح و سایر کاربردهای وکیوم بالا و فوقالعاده بالا (UHV) محسوب میشود.
طراحی تمامفلزی (All-Metal) و قابلیت Bakeout
یکی از مهمترین ویژگیهای گیج وکیوم PKR261، طراحی تمامفلزی (All-Metal) آن است. در این مدل، بخش اندازهگیری بهگونهای طراحی شده که استفاده از مواد آلی و قطعات پلیمری در مسیر وکیوم به حداقل رسیده است. این موضوع باعث کاهش میزان گازدهی (Outgassing) و نرخ نشتی (Leak Rate) شده و امکان دستیابی به وکیوم بالا و فوقالعاده بالا (UHV) را با دقت و پایداری بیشتر فراهم میکند. به همین دلیل، PKR261 برای کاربردهای حساس مانند صنایع نیمههادی، تجهیزات تحقیقاتی، شتابدهندههای ذرات و سیستمهای آنالیز سطح انتخاب مناسبی محسوب میشود.
از دیگر مزایای این فشارسنج، قابلیت گرم شدن (Bakeable) است. در بسیاری از سیستمهای وکیوم، برای حذف بخار آب و گازهای جذبشده روی دیواره محفظه و اجزای داخلی، فرآیندی به نام Bakeout انجام میشود که در آن سیستم تا دمای مشخصی گرم میشود. طراحی تمامفلزی PKR261 این امکان را فراهم میکند که گیج نیز در این فرآیند همراه با سیستم گرم شود. این ویژگی موجب کاهش آلودگی داخلی، رسیدن سریعتر به وکیوم بالا، افزایش دقت اندازهگیری و بهبود عملکرد گیج در کاربردهای UHV میشود.
---
نحوه عملکرد فشارسنج وکیوم PKR261 Pfeiffer
فشارسنج وکیوم فول رنج PKR261 از یک تکنیک اندازهگیری ترکیبی (Combined Gauge) استفاده میکند که دو فناوری مستقل را در یک بدنه ادغام کرده است. این گیج دارای دو سنسور داخلی است.
سنسور پیرانی (Pirani Gauge)
گیج پیرانی برای فشارهای نسبتاً بالا، یعنی از فشار اتمسفر تا حدود 10⁻² mbar کار میکند. اساس عملکرد این سنسور بر هدایت حرارتی گاز است.
در داخل گیج، یک فیلامان بسیار نازک توسط جریان الکتریکی گرم میشود. هنگامی که فشار داخل سیستم بالا باشد، تعداد مولکولهای گاز بیشتر بوده و انتقال حرارت از فیلامان افزایش مییابد. با کاهش فشار، تعداد مولکولهای گاز کمتر شده و انتقال حرارت کاهش پیدا میکند، در نتیجه فیلامان گرمتر باقی میماند.
مدار الکترونیکی گیج با اندازهگیری تغییر مقاومت الکتریکی فیلامان یا توان مورد نیاز برای ثابت نگه داشتن دمای آن، مقدار فشار را محاسبه میکند.
از آنجا که در فشارهای پایینتر از حدود 10⁻² mbar هدایت حرارتی گاز بسیار کاهش مییابد، دقت سنسور پیرانی نیز کاهش پیدا کرده و سنسور دوم وارد مدار میشود.
سنسور کاتد سرد (Cold Cathode Gauge)
سنسور کاتد سرد PKR261 بر اساس فناوری Inverted Magnetron کار میکند.
در این روش، میدان الکتریکی و میدان مغناطیسی باعث حرکت مارپیچی الکترونها در داخل سنسور میشوند. این حرکت احتمال برخورد الکترونها با مولکولهای گاز را افزایش داده و در نتیجه مولکولهای گاز یونیزه میشوند. جریان یون تولیدشده متناسب با فشار داخل سیستم بوده و مدار الکترونیکی گیج آن را به مقدار فشار تبدیل میکند.
این سنسور در فشارهای پایینتر از حدود 10⁻² mbar فعال شده و اندازهگیری را تا حدود 10⁻⁹ mbar ادامه میدهد. از آنجا که در این روش هیچ فیلامان گرمی وجود ندارد، خطر سوختن فیلامان در اثر ورود ناگهانی هوا وجود نداشته و طول عمر سنسور افزایش مییابد.
الکترونیک داخلی گیج بهصورت کاملاً خودکار مناسبترین سنسور را برای هر محدوده فشار انتخاب میکند و خروجی اندازهگیری را بدون وقفه بین دو فناوری جابهجا میکند. در نتیجه، کاربر یک خروجی پیوسته و دقیق در کل محدوده اندازهگیری دریافت میکند.
یکی دیگر از ویژگیهای مهم PKR261، قابلیت Bakeout یا گرم کردن گیج است. ساختار تمامفلزی این فشارسنج امکان قرار گرفتن در فرآیند گرمکردن سیستم وکیوم را فراهم میکند. در عملیات Bakeout، با افزایش دمای سیستم، بخار آب و گازهای جذبشده روی دیوارهها و اجزای داخلی آزاد شده و از سیستم خارج میشوند. این فرآیند باعث کاهش Outgassing، دستیابی سریعتر به وکیوم بالا و افزایش دقت اندازهگیری، بهویژه در سیستمهای UHV، میشود.
---
مزایای فشارسنج وکیوم PKR261 Pfeiffer
* اندازهگیری فشار از فشار اتمسفر تا وکیوم بسیار بالا با یک گیج
* ترکیب فناوری پیرانی و کاتد سرد در یک سنسور
* طراحی کاملاً فلزی (All-Metal)
* قابلیت انجام عملیات Bakeout
* نرخ نشتی (Leak Rate) و گازدهی (Outgassing) بسیار پایین
* مناسب برای سیستمهای وکیوم بالا و فوقالعاده بالا (UHV)
* سوئیچ خودکار بین سنسور پیرانی و کاتد سرد
* طول عمر بالا و پایداری مناسب در اندازهگیری
* قابلیت اتصال به کنترلرها و سیستمهای مانیتورینگ
* نصب آسان و ابعاد فشرده
---
کاربردهای فشارسنج وکیوم PKR261 Pfeiffer
* سیستمهای وکیوم فوقالعاده بالا (UHV)
* شتابدهندههای ذرات
* صنایع نیمههادی
* تجهیزات آنالیز سطح
* میکروسکوپهای الکترونی
* تجهیزات تحقیقاتی و آزمایشگاهی
* سیستمهای پمپ توربومولکولی
* تجهیزات پوششدهی (PVD و CVD)
* صنایع اپتیک و فوتونیک
* کورههای خلأ و سایر سیستمهای وکیوم پیشرفته
