آخرین بروز رسانی : 19-04-1405
گیج وکیوم مدل MPG500 شرکت INFICON
گیج وکیوم مدل MPG500 از شرکت INFICON یک گیج وکیوم (فشارسنج خلأ) فول رنج (Full Range Vacuum Gauge) از سری Gemini MxG5xx است که برای اندازهگیری فشار در سیستمهای وکیوم (خلأ) از فشار اتمسفر تا وکیوم بسیار بالا طراحی شده است.
این فشارسنج با ترکیب دو فناوری اندازهگیری، یعنی گیج پیرانی (Pirani Gauge) و گیج کاتد سرد (Cold Cathode Gauge)، امکان اندازهگیری پیوسته فشار را در محدوده 1000 تا 10⁻⁹ mbar فراهم میکند. استفاده از فناوری Inverted Magnetron در بخش کاتد سرد، همراه با طراحی جدید سری Gemini، باعث شده است MPG500 یکی از پیشرفتهترین گیجهای فول رنج شرکت INFICON برای کاربردهای صنعتی و تحقیقاتی باشد.
نحوه عملکرد فشارسنج وکیوم MPG500 INFICON
فشارسنج وکیوم فول رنج MPG500 از یک سیستم اندازهگیری ترکیبی (Combined Gauge) استفاده میکند که دو فناوری مستقل را در یک بدنه ادغام کرده است. این گیج دارای دو سنسور داخلی است.
سنسور پیرانی (Pirani Gauge)
گیج پیرانی در محدوده فشارهای بالاتر، از فشار اتمسفر تا حدود 10⁻² mbar عمل میکند. اساس عملکرد این سنسور بر هدایت حرارتی گاز است.
در داخل سنسور، یک فیلامان بسیار نازک توسط جریان الکتریکی گرم میشود. هرچه تعداد مولکولهای گاز بیشتر باشد، انتقال حرارت از فیلامان افزایش یافته و دمای آن کاهش مییابد. با کاهش فشار، انتقال حرارت کمتر شده و فیلامان گرمتر باقی میماند.
مدار الکترونیکی گیج، تغییر مقاومت الکتریکی فیلامان یا توان مورد نیاز برای ثابت نگه داشتن دمای آن را اندازهگیری کرده و بر اساس آن فشار سیستم را محاسبه میکند.
در فشارهای پایینتر از حدود 10⁻² mbar، دقت سنسور پیرانی کاهش یافته و سنسور کاتد سرد بهصورت خودکار وارد مدار میشود.
سنسور کاتد سرد (Cold Cathode Gauge)
سنسور کاتد سرد MPG500 بر پایه فناوری Inverted Magnetron طراحی شده است.
در این روش، میدان الکتریکی و میدان مغناطیسی باعث حرکت مارپیچی الکترونها شده و احتمال برخورد آنها با مولکولهای گاز افزایش مییابد. در نتیجه، مولکولهای گاز یونیزه شده و جریان یون متناسب با فشار تولید میشود. مدار الکترونیکی داخلی گیج این جریان را اندازهگیری کرده و مقدار فشار را محاسبه میکند.
این سنسور از حدود 10⁻² mbar فعال شده و اندازهگیری را تا *10⁻⁹ mbar ادامه میدهد. از آنجا که در این روش هیچ فیلامان گرمی وجود ندارد، خطر سوختن فیلامان در اثر ورود ناگهانی هوا وجود نداشته و طول عمر سنسور افزایش مییابد.
دو سیستم اندازهگیری بهصورت کاملاً خودکار با یکدیگر ترکیب شدهاند و الکترونیک داخلی گیج، مناسبترین سنسور را برای هر محدوده فشار انتخاب میکند. در نتیجه، کاربر یک خروجی پیوسته و بدون وقفه در کل محدوده اندازهگیری دریافت میکند.
یکی از مهمترین ویژگیهای MPG500 نسبت به نسل قبلی، استفاده از طراحی جدید Gemini است. این سری دارای میدان مغناطیسی نشتی بسیار کم (Ultra-Low Magnetic Stray Field) بوده و به همین دلیل برای استفاده در نزدیکی تجهیزات حساس، مانند دستگاههای آنالیز، میکروسکوپهای الکترونی و تجهیزات تحقیقاتی، مناسبتر است. همچنین واحد سنسور این گیج بهصورت ماژول قابل تعویض (Replaceable Sensor Unit) طراحی شده است؛ بنابراین در صورت آلودگی یا کاهش عملکرد سنسور، میتوان بخش اندازهگیری را بدون تعویض کامل گیج جایگزین کرد که این موضوع باعث کاهش هزینههای نگهداری و زمان توقف تجهیزات میشود.
مزایای فشارسنج وکیوم MPG500 INFICON
* اندازهگیری پیوسته فشار از فشار اتمسفر تا وکیوم بسیار بالا
* ترکیب فناوری پیرانی و کاتد سرد در یک گیج
* طراحی جدید سری Gemini با میدان مغناطیسی نشتی بسیار کم
* واحد سنسور قابل تعویض و کاهش هزینههای نگهداری
* راهاندازی سریع و پایدار سنسور کاتد سرد
* مقاومت بالا در محیطهای صنعتی و شرایط کاری سخت
* قابلیت یکپارچهسازی آسان با سیستمهای کنترل
* ابعاد فشرده و نصب آسان
* قابلیت ارائه نسخههای دارای رابطهای ارتباطی صنعتی مانند RS232، RS485، PROFINET و EtherCAT (بسته به مدل)
کاربردهای فشارسنج وکیوم MPG500 INFICON
* سیستمهای پمپ توربومولکولی
* تجهیزات پوششدهی (PVD و CVD)
* صنایع نیمههادی
* تجهیزات آنالیز سطح
* طیفسنجهای جرمی (Mass Spectrometry)
* میکروسکوپهای الکترونی
* تجهیزات تحقیقاتی و آزمایشگاهی
* کورههای خلأ
* صنایع اپتیک و فوتونیک
* سیستمهای وکیوم صنعتی
