آخرین بروز رسانی : 19-04-1405
گیج وکیوم مدل MPG401 شرکت INFICON
گیج وکیوم مدل MPG401 از شرکت INFICON یک گیج وکیوم (فشارسنج خلأ) فول رنج (Full Range Vacuum Gauge) است که برای اندازهگیری فشار در سیستمهای وکیوم (خلأ) از فشار اتمسفر تا وکیوم بسیار بالا طراحی شده است.
این فشارسنج با ترکیب دو فناوری اندازهگیری گیج پیرانی (Pirani Gauge) و گیج کاتد سرد (Cold Cathode Gauge)، امکان اندازهگیری پیوسته فشار را در محدوده 1000 تا 5×10⁻⁹ mbar فراهم میکند. به همین دلیل، MPG401 در صنایع نیمههادی، تجهیزات پوششدهی، سیستمهای پمپ توربومولکولی، تجهیزات تحقیقاتی، آنالیز سطح و سایر سیستمهای وکیوم صنعتی کاربرد گستردهای دارد.
یکی از مهمترین ویژگیهای گیج وکیوم MPG401، طراحی تمامفلزی (Metal-Sealed / All-Metal) آن است. برخلاف مدل MPG400 که از آببندی FPM (Viton) استفاده میکند، در MPG401 از آببندی فلزی در بخش در تماس با وکیوم استفاده شده است. این طراحی باعث کاهش نرخ نشتی (Leak Rate)، کاهش میزان گازدهی (Outgassing) و افزایش پایداری سیستم در کاربردهای وکیوم بالا و فوقالعاده بالا (UHV) میشود. به همین دلیل، MPG401 برای فرآیندهای حساس که به محیط وکیوم بسیار تمیز نیاز دارند، گزینهای ایدهآل محسوب میشود.
---
نحوه عملکرد فشارسنج وکیوم MPG401 INFICON
فشارسنج وکیوم فول رنج MPG401 از یک سیستم اندازهگیری ترکیبی (Combined Gauge) استفاده میکند که دو فناوری مستقل را در یک بدنه ادغام کرده است. این گیج دارای دو سنسور داخلی است.
سنسور پیرانی (Pirani Gauge)
گیج پیرانی برای اندازهگیری فشار از فشار اتمسفر تا حدود 10⁻² mbar به کار میرود. عملکرد این سنسور بر پایه هدایت حرارتی گاز است.
در داخل گیج، یک فیلامان بسیار نازک توسط جریان الکتریکی گرم میشود. هرچه تعداد مولکولهای گاز بیشتر باشد، انتقال حرارت از فیلامان افزایش یافته و دمای آن کاهش مییابد. با کاهش فشار، انتقال حرارت کمتر شده و فیلامان گرمتر باقی میماند.
مدار الکترونیکی گیج با اندازهگیری تغییر مقاومت الکتریکی فیلامان یا توان لازم برای ثابت نگه داشتن دمای آن، مقدار فشار را محاسبه میکند.
در فشارهای پایینتر از حدود 10⁻² mbar، حساسیت سنسور پیرانی کاهش یافته و سنسور کاتد سرد بهصورت خودکار وارد مدار میشود.
سنسور کاتد سرد (Cold Cathode Gauge)
سنسور کاتد سرد MPG401 بر اساس فناوری Inverted Magnetron کار میکند.
در این روش، میدان الکتریکی و میدان مغناطیسی باعث حرکت مارپیچی الکترونها شده و احتمال برخورد آنها با مولکولهای گاز افزایش مییابد. در نتیجه، مولکولهای گاز یونیزه شده و جریان یون تولیدشده متناسب با فشار سیستم خواهد بود. مدار الکترونیکی داخلی گیج این جریان را اندازهگیری کرده و مقدار فشار را محاسبه میکند.
این سنسور از حدود 10⁻² mbar فعال شده و اندازهگیری را تا 5×10⁻⁹ mbar ادامه میدهد. از آنجا که در این روش هیچ فیلامان گرمی وجود ندارد، خطر سوختن فیلامان در اثر ورود ناگهانی هوا وجود نداشته و سنسور از طول عمر بالایی برخوردار است.
الکترونیک داخلی گیج بهصورت خودکار مناسبترین سنسور را برای هر محدوده فشار انتخاب کرده و خروجی اندازهگیری را بدون وقفه بین دو فناوری جابهجا میکند. در نتیجه، کاربر مقدار فشار را بهصورت پیوسته و دقیق در کل محدوده اندازهگیری دریافت میکند.
---
طراحی تمامفلزی و قابلیت Bakeout
یکی دیگر از ویژگیهای مهم MPG401، قابلیت Bakeout است. ساختار تمامفلزی این گیج امکان قرار گرفتن آن در فرآیند گرم کردن سیستم وکیوم را فراهم میکند. در عملیات Bakeout، با افزایش دمای سیستم، بخار آب، رطوبت و گازهای جذبشده روی سطوح داخلی آزاد شده و توسط سیستم پمپاژ از محفظه خارج میشوند. این فرآیند موجب کاهش Outgassing، دستیابی سریعتر به وکیوم بالا و افزایش دقت اندازهگیری، بهویژه در سیستمهای UHV، میشود.
در مدل MPG401، در صورت جدا کردن بخش الکترونیک و شیلد مغناطیسی، امکان انجام عملیات Bakeout تا 150 درجه سانتیگراد وجود دارد. این ویژگی باعث شده است این مدل نسبت به نسخه استاندارد MPG400 برای کاربردهای تحقیقاتی، صنایع نیمههادی و سایر فرآیندهای حساس انتخاب مناسبتری باشد.
---
مزایای فشارسنج وکیوم MPG401 INFICON
* اندازهگیری فشار از فشار اتمسفر تا وکیوم بسیار بالا با یک گیج
* ترکیب فناوری پیرانی و کاتد سرد در یک سنسور
* طراحی تمامفلزی (Metal-Sealed / All-Metal)
* نرخ نشتی (Leak Rate) و گازدهی (Outgassing) بسیار پایین
* قابلیت انجام عملیات Bakeout تا 150 درجه سانتیگراد (با جدا کردن بخش الکترونیک)
* مناسب برای سیستمهای وکیوم بالا و فوقالعاده بالا (UHV)
* سوئیچ خودکار بین سنسور پیرانی و کاتد سرد
* طول عمر بالا و عملکرد پایدار
* قابلیت اتصال به کنترلرها و سیستمهای مانیتورینگ
* نصب آسان و ابعاد فشرده
---
کاربردهای فشارسنج وکیوم MPG401 INFICON
* سیستمهای وکیوم فوقالعاده بالا (UHV)
* صنایع نیمههادی
* تجهیزات پوششدهی (PVD و CVD)
* تجهیزات آنالیز سطح
* شتابدهندههای ذرات
* میکروسکوپهای الکترونی
* تجهیزات تحقیقاتی و آزمایشگاهی
* سیستمهای پمپ توربومولکولی
* کورههای خلأ
* صنایع اپتیک و فوتونیک
* سیستمهای وکیوم صنعتی پیشرفته
---
تفاوت گیج وکیوم MPG400 و MPG401
گیجهای MPG400 و MPG401 هر دو از محصولات شرکت INFICON بوده و از نوع گیج وکیوم (فشارسنج خلأ) فول رنج (Full Range Vacuum Gauge) هستند. هر دو مدل با ترکیب فناوری گیج پیرانی (Pirani Gauge) و گیج کاتد سرد (Cold Cathode Gauge)، قابلیت اندازهگیری فشار از فشار اتمسفر تا وکیوم بالا را در محدوده 1000 تا 5×10⁻⁹ mbar فراهم میکنند. همچنین هر دو از فناوری در بخش کاتد سرد بهره میبرند و از نظر محدوده اندازهگیری، دقت و نحوه عملکرد شباهت زیادی دارند.
مهمترین تفاوت این دو مدل در نوع آببندی و طراحی بخش در تماس با وکیوم است. مدل MPG400 از آببندی FPM (Viton) استفاده میکند و برای بیشتر کاربردهای صنعتی و سیستمهای وکیوم عمومی گزینهای مناسب محسوب میشود.
در مقابل، MPG401 دارای طراحی Metal-Sealed (All-Metal) است و در بخش در تماس با وکیوم از آببندی فلزی استفاده میکند. این طراحی موجب کاهش نرخ نشتی (Leak Rate) و گازدهی (Outgassing) شده و امکان استفاده از گیج در سیستمهای وکیوم فوقالعاده بالا (UHV) را فراهم میکند.
علاوه بر این، مدل MPG401 قابلیت انجام فرآیند Bakeout را نیز دارد. در این مدل، پس از جدا کردن بخش الکترونیک و شیلد مغناطیسی، میتوان گیج را تا 150 درجه سانتیگراد گرم کرد تا بخار آب و گازهای جذبشده از سطوح داخلی خارج شوند. این ویژگی باعث دستیابی سریعتر به وکیوم بالا و افزایش پایداری اندازهگیری در کاربردهای حساس میشود.
به طور کلی، اگر سیستم وکیوم در شرایط صنعتی معمول کار میکند، MPG400 انتخابی اقتصادی و مناسب خواهد بود؛ اما برای کاربردهایی که دستیابی به وکیوم فوقالعاده بالا، کاهش آلودگی داخلی، قابلیت Bakeout و حداقل Outgassing اهمیت دارد، MPG401 گزینه مناسبتری محسوب میشود.
