آخرین بروز رسانی : 19-04-1405
گیج وکیوم MPG400 INFICON چیست؟
گیج وکیوم MPG400 ساخت شرکت INFICON، یک گیج فول رنج (Full Range Vacuum Gauge) است که برای اندازه‌گیری فشار در سیستم‌های وکیوم (خلأ) از فشار اتمسفر تا 5×10⁻⁹ mbar طراحی شده است. این گیج با ترکیب دو فناوری اندازه‌گیری پیرانی (Pirani) و کاتد سرد (Inverted Magnetron Cold Cathode)، امکان اندازه‌گیری دقیق فشار را در محدوده‌ای بسیار گسترده فراهم می‌کند.
طراحی فشرده، دقت مناسب، خروجی آنالوگ لگاریتمی و قابلیت اطمینان بالا، باعث شده است گیج MPG400 یکی از گزینه‌های مناسب برای تجهیزات پوشش‌دهی، سیستم‌های پمپ توربومولکولی، صنایع نیمه‌هادی، تجهیزات تحقیقاتی و سایر کاربردهای وکیوم باشد.
نحوه عملکرد گیج وکیوم MPG400 INFICON
گیج MPG400 از دو سیستم اندازه‌گیری مستقل تشکیل شده است که به‌صورت هوشمند با یکدیگر ترکیب شده‌اند. این طراحی باعث می‌شود کل محدوده فشار تنها با یک گیج اندازه‌گیری شود و نیازی به استفاده از چند سنسور مجزا نباشد.
سنسور پیرانی (Pirani Gauge)
در فشارهای بالا و متوسط، اندازه‌گیری توسط سنسور پیرانی انجام می‌شود. عملکرد این سنسور بر پایه هدایت حرارتی گاز است.
داخل گیج، یک فیلامان بسیار نازک توسط جریان الکتریکی گرم می‌شود. هرچه تعداد مولکول‌های گاز بیشتر باشد، انتقال حرارت از فیلامان افزایش یافته و دمای آن کاهش می‌یابد. با کاهش فشار، انتقال حرارت کمتر شده و تغییرات مقاومت الکتریکی فیلامان برای محاسبه فشار مورد استفاده قرار می‌گیرد.
این روش، دقت مناسبی در محدوده فشار اتمسفر تا حدود 10⁻² mbar فراهم می‌کند.
سنسور کاتد سرد یا پنینگ (Inverted Magnetron Cold Cathode)
پس از رسیدن فشار به حدود 10⁻² mbar، سنسور کاتد سرد به‌صورت خودکار وارد مدار می‌شود. این سنسور بر اساس فناوری Inverted Magnetron کار می‌کند و با یونیزه کردن مولکول‌های گاز، فشار را تا حدود 5×10⁻⁹ mbar اندازه‌گیری می‌کند.
یکی از مزایای این فناوری، **عدم استفاده از فیلامان در بخش کاتد سرد** است؛ در نتیجه احتمال سوختن فیلامان، آلودگی ناشی از تبخیر آن و آسیب ناشی از ورود ناگهانی هوا کاهش می‌یابد.
عملکرد خودکار دو سنسور
الکترونیک داخلی MPG400 به‌صورت پیوسته وضعیت فشار را بررسی می‌کند و بدون نیاز به دخالت کاربر، بین سنسور پیرانی و کاتد سرد جابه‌جا می‌شود. به همین دلیل، کاربر تنها یک خروجی آنالوگ پیوسته و یکنواخت برای کل محدوده اندازه‌گیری دریافت می‌کند.
ویژگی‌های گیج وکیوم MPG400 INFICON
* اندازه‌گیری فشار از فشار اتمسفر تا 5×10⁻⁹ mbar
* ترکیب فناوری پیرانی و کاتد سرد در یک گیج
* خروجی آنالوگ لگاریتمی برای اتصال به کنترلرها
* عملکرد خودکار بین دو سنسور
* قابلیت نصب در هر وضعیت (Any Orientation)
* مصرف توان پایین و طراحی فشرده
* LED نمایش فعال بودن بخش ولتاژ بالای کاتد سرد
* تمیزکاری و نگهداری آسان
کاربردهای گیج وکیوم MPG400 INFICON
* سیستم‌های پمپ توربومولکولی
* تجهیزات تبخیر و اسپاترینگ
* دستگاه‌های پوشش‌دهی PVD و CVD
* صنایع نیمه‌هادی
* تجهیزات تحقیقاتی و آزمایشگاهی
* سیستم‌های کنترل و اندازه‌گیری وکیوم
* تجهیزات عمومی وکیوم صنعتی
مزایای گیج وکیوم MPG400 INFICON
* پوشش کامل محدوده فشار با یک گیج
* کاهش نیاز به استفاده از چند سنسور مجزا
* دقت و تکرارپذیری مناسب
* راه‌اندازی سریع و نصب آسان
* مقاومت مناسب در محیط‌های صنعتی
* قابلیت اطمینان بالا برای اندازه‌گیری وکیوم متوسط تا وکیوم بالا
