تاریخ بروز رسانی: 17-04-1405
گیج وکیوم MKS 972B-7104 چیست؟
گیج وکیوم 972B-7104 ساخت شرکت MKS Instruments، یک گیج فول رنج (Full Range Vacuum Gauge) است که برای اندازهگیری فشار در سیستمهای وکیوم (خلأ) از فشار اتمسفر تا حدود 1×10⁻⁸ Torr طراحی شده است. این گیج با بهرهگیری از فناوری MicroPirani™ و DualMag™ Cold Cathode، اندازهگیری دقیق و پیوسته فشار را در محدوده وسیعی از وکیوم امکانپذیر میکند.
مدل 972B-7104 علاوه بر عملکرد دقیق، به نمایشگر لمسی (Touch Display) مجهز شده است که امکان مشاهده لحظهای فشار، تغییر تنظیمات،تنظیم Set Pointها از طریق نمایشگر،انتخاب نوع گاز، انتخاب واحد اندازهگیری و نمایش وضعیت عملکرد گیج را بدون نیاز به کنترلر خارجی فراهم میکند. همچنین وجود رابط ارتباطیEtherCAT، این مدل را به گزینهای مناسب برای سیستمهای اتوماسیون صنعتی و تجهیزات پیشرفته وکیوم تبدیل کرده است.
نحوه عملکرد گیج وکیوم MKS 972B-7104
گیج وکیوم 972B-7104 از دو فناوری مستقل برای اندازهگیری فشار استفاده میکند که بهصورت هوشمند با یکدیگر ترکیب شدهاند. این طراحی باعث میشود کل محدوده فشار تنها با یک گیج اندازهگیری شود و نیازی به استفاده از چند سنسور مجزا نباشد.
سنسور MicroPirani™
برخلاف بسیاری از گیجهای فول رنج که از سنسور پیرانی معمولی استفاده میکنند، در مدل 972B-7104 از فناوری اختصاصی MicroPirani™ مبتنی بر MEMS استفاده شده است.
این سنسور با اندازهگیری هدایت حرارتی گاز، فشار را از فشار اتمسفر تا حدود 5×10⁻⁴ Torr اندازهگیری میکند. به دلیل ابعاد بسیار کوچک المان MEMS، این فناوری نسبت به گیجهای پیرانی متداول، سرعت پاسخ بالاتر، پایداری بیشتر و دقت مناسبتری ارائه میدهد.
یکی دیگر از ویژگیهای MicroPirani™، کالیبراسیون خودکار در هنگام پمپداون است که باعث حفظ دقت اندازهگیری در طول زمان میشود.
سنسور DualMag™ Cold Cathode
در فشارهای پایین، سنسور DualMag™ Cold Cathode بهصورت خودکار وارد مدار میشود. این سنسور بر پایه فناوری Inverted Magnetron کار کرده و با یونیزه کردن مولکولهای گاز، فشار را تا حدود 1×10⁻⁸ Torr اندازهگیری میکند.
از آنجا که در این فناوری از فیلامان گرم استفاده نمیشود، خطر سوختن فیلامان وجود ندارد و سنسور در برابر ورود ناگهانی هوا مقاومت بالایی دارد. همچنین طراحی ماژول کاتد سرد بهگونهای است که در صورت نیاز، امکان سرویس یا تعویض آن وجود دارد.
کنترل هوشمند بین دو سنسور
الکترونیک داخلی گیج 972B-7104 بهطور مداوم فشار سیستم را بررسی کرده و بهصورت خودکار بین سنسور MicroPirani™ و DualMag™ Cold Cathode جابهجا میشود.
این عملکرد هوشمند باعث میشود کاتد سرد تنها در فشار مناسب فعال شود. در نتیجه، استهلاک سنسور کاهش یافته، طول عمر آن افزایش پیدا کرده و دقت اندازهگیری در محدوده انتقال بین دو فناوری حفظ شود.
ویژگیهای گیج وکیوم MKS 972B-7104
* اندازهگیری فشار از فشار اتمسفر تا 1×10⁻⁸ Torr
* بهرهگیری از فناوری MicroPirani™ MEMS
* استفاده از سنسور DualMag™ Cold Cathode
* نمایشگر لمسی برای نمایش فشار و انجام تنظیمات
* قابلیت انتخاب واحدهای اندازهگیری مانند Torr، mbar و Pascal
* رابط ارتباطی EtherCAT
* خروجی آنالوگ برای اتصال به سیستمهای کنترلی
* قابلیت نصب در موقعیتهای مختلف
* قابلیت سرویس و تعویض ماژول کاتد سرد
کاربردهای گیج وکیوم MKS 972B-7104
* سیستمهای پمپ توربومولکولی
* تجهیزات ساخت نیمههادی
* دستگاههای پوششدهی PVD و CVD
* تجهیزات تحقیقاتی و آزمایشگاهی
* تجهیزات آنالیز سطح
* سیستمهای کنترل و مانیتورینگ وکیوم
* تجهیزات اتوماسیون صنعتی و ماشینآلات پیشرفته
مزایای گیج وکیوم MKS 972B-7104
* اندازهگیری کل محدوده فشار تنها با یک گیج
* فناوری اختصاصی MicroPirani™ با دقت و پایداری بالا
* کنترل هوشمند عملکرد سنسور کاتد سرد برای افزایش طول عمر
* نمایشگر لمسی جهت مشاهده فشار و تنظیم پارامترها
* پشتیبانی از ارتباط EtherCAT برای اتصال به سیستمهای صنعتی
* قابلیت سرویس آسان و هزینه نگهداری پایین
* مناسب برای کاربردهای صنعتی، تحقیقاتی و تجهیزات پیشرفته وکیوم
چرا گیج وکیوم MKS 972B-7104 را انتخاب کنیم؟
اگر به دنبال یک گیج فول رنج با دقت بالا، نمایشگر داخلی، قابلیت ارتباط با سیستمهای اتوماسیون صنعتی و فناوری پیشرفته MicroPirani™ هستید، مدل 972B-7104 یکی از بهترین گزینهها محسوب میشود. این گیج علاوه بر اندازهگیری دقیق فشار در کل محدوده وکیوم، امکانات کنترلی و تنظیمات پیشرفتهای را نیز در اختیار کاربر قرار میدهد و برای تجهیزات نیمههادی، سیستمهای تحقیقاتی و ماشینآلات صنعتی انتخابی ایدهآل است.
