آخرین بروز رسانی : 19-04-1405
گیج وکیوم مدل MPG504 شرکت INFICON
گیج وکیوم مدل MPG504 از شرکت INFICON یک گیج وکیوم (فشارسنج خلأ) فول رنج (Full Range Vacuum Gauge) از سری Gemini MxG5xx است که برای اندازهگیری فشار در سیستمهای وکیوم (خلأ) از فشار اتمسفر تا وکیوم بسیار بالا طراحی شده است.
یکی از مهمترین ویژگیهای MPG504، طراحی آن برای استفاده در محیطهای خورنده است. در این مدل، قسمت Feedthrough وبخش سنسور Pirani با پوشش کامل سرامیکی (Ceramic Coating) محافظت شدهاند که مقاومت گیج را در برابر گازها و بخارات خورنده بهطور قابل توجهی افزایش میدهد. به همین دلیل، MPG504 برای فرآیندهایی مانند CVD، تجهیزات اچ (Etching)، صنایع نیمههادی، فرآیندهای شیمیایی و سایر کاربردهایی که احتمال تماس سنسور با مواد خورنده وجود دارد، انتخاب مناسبتری نسبت به مدل استاندارد MPG500 محسوب میشود.
این فشارسنج با ترکیب دو فناوری اندازهگیری گیج پیرانی (Pirani Gauge) و گیج کاتد سرد (Cold Cathode Gauge)، قابلیت اندازهگیری پیوسته فشار را در محدوده 1000 تا 10⁻⁹ mbar فراهم میکند. استفاده از فناوری Inverted Magnetron در بخش کاتد سرد، همراه با طراحی جدید سری Gemini، دقت، پایداری و قابلیت اطمینان بالایی را در اندازهگیری فشار ایجاد کرده است.
مدل MPG504 علاوه بر ویژگیهای فنی سری Gemini، به رابط ارتباطی PROFINET مجهز شده است و امکان اتصال مستقیم گیج به سیستمهای اتوماسیون صنعتی، PLC و شبکههای صنعتی مبتنی بر PROFINET را فراهم میکند. این ویژگی باعث میشود MPG504 گزینهای مناسب برای خطوط تولید خودکار، صنایع نیمههادی، تجهیزات پوششدهی و سایر سیستمهای وکیوم پیشرفته باشد.
نحوه عملکرد فشارسنج وکیوم MPG504 INFICON
فشارسنج وکیوم فول رنج MPG504 از یک سیستم اندازهگیری ترکیبی (Combined Gauge) استفاده میکند که دو فناوری مستقل را در یک بدنه ادغام کرده است. این گیج دارای دو سنسور داخلی است.
سنسور پیرانی (Pirani Gauge)
گیج پیرانی در محدوده فشارهای بالاتر، از فشار اتمسفر تا حدود 10⁻² mbar عمل میکند. اساس عملکرد این سنسور بر هدایت حرارتی گاز است.
در داخل سنسور، یک فیلامان بسیار نازک توسط جریان الکتریکی گرم میشود. هرچه تعداد مولکولهای گاز بیشتر باشد، انتقال حرارت از فیلامان افزایش یافته و دمای آن کاهش مییابد. با کاهش فشار، انتقال حرارت کمتر شده و فیلامان گرمتر باقی میماند.
مدار الکترونیکی گیج با اندازهگیری تغییر مقاومت الکتریکی فیلامان یا توان مورد نیاز برای ثابت نگه داشتن دمای آن، مقدار فشار را محاسبه میکند.
در فشارهای پایینتر از حدود 10⁻² mbar، سنسور پیرانی دقت خود را از دست داده و سنسور کاتد سرد بهصورت خودکار وارد مدار میشود.
سنسور کاتد سرد (Cold Cathode Gauge)
سنسور کاتد سرد MPG504 بر پایه فناوری Inverted Magnetron طراحی شده است.
در این روش، میدان الکتریکی و میدان مغناطیسی باعث حرکت مارپیچی الکترونها شده و احتمال برخورد آنها با مولکولهای گاز افزایش مییابد. مولکولهای گاز یونیزه شده و جریان یون تولیدشده متناسب با فشار داخل سیستم است. مدار الکترونیکی داخلی گیج این جریان را اندازهگیری کرده و مقدار فشار را محاسبه میکند.
این سنسور از حدود 10⁻² mbar فعال شده و اندازهگیری را تا 10⁻⁹ mbar ادامه میدهد. به دلیل عدم استفاده از فیلامان در این بخش، سنسور در برابر ورود ناگهانی هوا مقاومت بیشتری داشته و طول عمر بالاتری نسبت به گیجهای کاتد گرم دارد.
الکترونیک داخلی گیج بهصورت خودکار بین دو سنسور سوئیچ کرده و خروجی پیوسته و بدون وقفهای را در کل محدوده اندازهگیری در اختیار کاربر قرار میدهد.
مزایای فشارسنج وکیوم MPG504 INFICON
* اندازهگیری فشار از فشار اتمسفر تا وکیوم بسیار بالا با یک گیج
* ترکیب فناوری پیرانی و کاتد سرد در یک بدنه
* طراحی جدید سری Gemini با میدان مغناطیسی نشتی بسیار کم
* واحد سنسور قابل تعویض و کاهش هزینههای نگهداری
* مجهز به رابط ارتباطی PROFINET برای اتصال مستقیم به شبکههای اتوماسیون صنعتی
* قابلیت یکپارچهسازی آسان با PLC و سیستمهای کنترل
* راهاندازی سریع و عملکرد پایدار
* ابعاد فشرده و نصب آسان
* مناسب برای کارکرد مداوم در محیطهای صنعتی
کاربردهای فشارسنج وکیوم MPG504 INFICON
* سیستمهای پمپ توربومولکولی
* تجهیزات پوششدهی (PVD و CVD)
* صنایع نیمههادی
* خطوط تولید خودکار
* تجهیزات آنالیز سطح
* طیفسنجهای جرمی (Mass Spectrometry)
* تجهیزات تحقیقاتی و آزمایشگاهی
* کورههای خلأ
* صنایع اپتیک و فوتونیک
* سیستمهای وکیوم صنعتی مجهز به شبکه PROFINET
