تاریخ بروز رسانی: 20-04-1405
گیج وکیوم مدل IKR251 شرکت Pfeiffer Vacuum
گیج وکیوم مدل IKR251 از شرکت Pfeiffer Vacuum یک گیج وکیوم (فشارسنج خلأ) کاتد سرد (Cold Cathode Gauge) است که برای اندازهگیری فشار در سیستمهای وکیوم (خلأ) بالا و فوقالعاده بالا (High Vacuum و Ultra High Vacuum) طراحی شده است.
این فشارسنج بر پایه فناوری کاتد سرد با مگنترون معکوس (Cold Cathode Inverted Magnetron) کار میکند و قادر است فشار را در محدوده 1×10⁻² تا 1×10⁻⁹ mbar اندازهگیری کند. به دلیل نداشتن فیلامان گرمشونده، IKR251 از طول عمر بالایی برخوردار بوده و در برابر ورود ناگهانی هوا (Vent) مقاومت مناسبی دارد. به همین دلیل، این گیج در صنایع نیمههادی، تجهیزات پوششدهی، سیستمهای پمپ توربومولکولی، تجهیزات تحقیقاتی و سایر سیستمهای وکیوم بالا کاربرد گستردهای دارد.
---
نحوه عملکرد فشارسنج وکیوم IKR251 Pfeiffer
فشارسنج وکیوم IKR251 از فناوری کاتد سرد (Cold Cathode Gauge) با طراحی Inverted Magnetron استفاده میکند. در این روش، اندازهگیری فشار بر اساس یونیزه شدن مولکولهای گاز انجام میشود.
داخل سنسور، یک میدان الکتریکی و یک میدان مغناطیسی قوی ایجاد میشود. میدان مغناطیسی باعث میشود الکترونها بهجای حرکت مستقیم، مسیر مارپیچی را طی کنند. این موضوع احتمال برخورد الکترونها با مولکولهای گاز را افزایش داده و باعث یونیزه شدن آنها میشود.
یونهای تولیدشده به سمت الکترودها حرکت کرده و جریان الکتریکی بسیار کوچکی ایجاد میکنند. مدار الکترونیکی داخلی گیج این جریان را اندازهگیری کرده و مقدار فشار را محاسبه میکند. هرچه فشار داخل سیستم کمتر باشد، تعداد مولکولهای گاز کاهش یافته و جریان یون نیز کمتر خواهد بود.
از آنجا که در این روش هیچ فیلامان گرمی وجود ندارد، خطر سوختن فیلامان در اثر ورود ناگهانی هوا یا قطع شدن وکیوم (خلأ) وجود ندارد. این ویژگی باعث افزایش طول عمر سنسور و کاهش نیاز به تعمیر و نگهداری میشود.
گیج IKR251 برای شروع اندازهگیری به فشار اولیه نیاز دارد و معمولاً پس از آنکه فشار سیستم توسط پمپ وکیوم و یک گیج اولیه مانند گیج پیرانی (Pirani Gauge) به حدود 10⁻² mbar برسد، سنسور کاتد سرد بهصورت خودکار وارد مدار شده و اندازهگیری فشار را ادامه میدهد.
---
مزایای فشارسنج وکیوم IKR251 Pfeiffer
* اندازهگیری دقیق فشار در محدوده وکیوم بالا و فوقالعاده بالا
* استفاده از فناوری Inverted Magnetron
* فاقد فیلامان گرمشونده
* مقاومت مناسب در برابر ورود ناگهانی هوا (Vent)
* طول عمر بالا و نیاز کم به تعمیر و نگهداری
* پایداری مناسب در اندازهگیری فشار
* امکان تمیز کردن سنسور در صورت آلودگی
* مناسب برای کارکرد مداوم در محیطهای صنعتی و تحقیقاتی
* قابلیت اتصال به کنترلرها و سیستمهای مانیتورینگ
* نصب آسان و ابعاد فشرده
---
کاربردهای فشارسنج وکیوم IKR251 Pfeiffer
* سیستمهای پمپ توربومولکولی
* تجهیزات پوششدهی (PVD و CVD)
* صنایع نیمههادی
* تجهیزات آنالیز سطح
* میکروسکوپهای الکترونی
* تجهیزات تحقیقاتی و آزمایشگاهی
* کورههای خلأ
* صنایع اپتیک و فوتونیک
* سیستمهای وکیوم بالا و فوقالعاده بالا (HV و UHV)
---
تفاوت گیج وکیوم IKR251 و PKR251
اگرچه هر دو مدل برای اندازهگیری فشار در سیستمهای وکیوم (خلأ) طراحی شدهاند، اما IKR251 و PKR251 کاربردهای متفاوتی دارند. مدل PKR251 یک گیج وکیوم (فشارسنج خلأ) فول رنج (Full Range Vacuum Gauge) است که با ترکیب سنسور پیرانی و کاتد سرد، فشار را از فشار اتمسفر تا حدود 10⁻⁹ mbar اندازهگیری میکند.
در مقابل، IKR251 تنها از فناوری کاتد سرد (Cold Cathode) استفاده میکند و برای اندازهگیری فشار در محدوده وکیوم بالا و فوقالعاده بالا، یعنی از حدود 10⁻² تا 10⁻⁹ mbar، طراحی شده است. به همین دلیل، در بسیاری از سیستمهای وکیوم، IKR251 در کنار یک گیج پیرانی یا یک گیج فول رنج مورد استفاده قرار میگیرد تا کل محدوده فشار پوشش داده شود.
