تاریخ بروز رسانی: 17-04-1405
اقلام قابل سفارش همراه کالا : کانکتور و کابل ارتباطی مخصوص Pfeiffer به طول 3 متر
گیج وکیوم PKR251 Pfeiffer چیست؟
گیج وکیوم PKR251 ساخت شرکت Pfeiffer Vacuum، یک گیج فول رنج (Full Range Gauge) است که برای اندازهگیری فشار از فشار اتمسفر تا وکیوم (خلأ) بسیار بالا طراحی شده است. این مدل با ترکیب دو فناوری پیرانی (Pirani) و کاتد سرد (Cold Cathode)، امکان اندازهگیری پیوسته فشار را در محدودهای بسیار گسترده فراهم میکند. به همین دلیل، PKR251 یکی از پرکاربردترین گیجهای وکیوم در صنایع نیمههادی، تجهیزات پوششدهی، آزمایشگاههای تحقیقاتی و سیستمهای پمپ وکیوم محسوب میشود.
نحوه عملکرد گیج وکیوم PKR251
گیج وکیوم PKR251 از فناوری Combined Gauge بهره میبرد؛ یعنی دو روش اندازهگیری مستقل را در یک سنسور ترکیب کرده است تا بتواند کل محدوده فشار را با دقت مناسب پوشش دهد. این گیج دارای دو سنسور داخلی است که هر کدام در محدوده مشخصی از فشار عملکرد بهینه دارند.
سنسور پیرانی (Pirani Gauge)
سنسور پیرانی برای اندازهگیری فشار از فشار اتمسفر تا حدود 10⁻² mbar استفاده میشود. اساس عملکرد این سنسور بر هدایت حرارتی گاز است. در داخل گیج، یک فیلامان بسیار نازک قرار دارد که توسط جریان الکتریکی گرم میشود. هرچه تعداد مولکولهای گاز بیشتر باشد، انتقال حرارت از فیلامان افزایش یافته و دمای آن کاهش مییابد. در مقابل، با کاهش فشار و کم شدن تعداد مولکولها، انتقال حرارت کمتر شده و فیلامان داغتر باقی میماند.
الکترونیک داخلی گیج، تغییرات مقاومت الکتریکی فیلامان یا توان موردنیاز برای ثابت نگه داشتن دمای آن را اندازهگیری کرده و بر اساس آن فشار را محاسبه میکند.
با رسیدن سیستم به وکیوم بالا، تعداد مولکولهای گاز به حدی کاهش مییابد که انتقال حرارت تقریباً متوقف میشود. در این شرایط، حساسیت سنسور پیرانی کاهش پیدا میکند و سنسور دوم وارد مدار میشود.
سنسور کاتد سرد یا پنینگ (Cold Cathode Gauge)
برای اندازهگیری فشارهای کمتر از حدود 10⁻² mbar، گیج PKR251 از سنسور کاتد سرد با فناوری Inverted Magnetronاستفاده میکند. این سنسور قادر است فشار را تا حدود 10⁻⁹ mbar اندازهگیری کند و برای وکیوم بالا و فوقالعاده بالا مناسب است.
برخلاف گیجهای کاتد داغ، در این روش هیچ فیلامان گرمی وجود ندارد؛ بنابراین احتمال سوختن فیلامان، ایجاد آلودگی ناشی از تبخیر آن و آسیب در اثر ورود ناگهانی هوا به حداقل میرسد.
الکترونیک داخلی PKR251 بهصورت خودکار تشخیص میدهد که در هر محدوده فشار، کدام سنسور دقت بیشتری دارد و بدون هیچ وقفهای بین دو فناوری جابهجا میشود. در نتیجه، کاربر تنها یک خروجی پیوسته و دقیق برای کل محدوده اندازهگیری دریافت میکند.
مزایای سنسور کاتد سرد
* فاقد فیلامان بوده و خطر سوختن یا اکسید شدن آن وجود ندارد.
* در برابر ورود ناگهانی هوا (Vent) مقاومت بالایی دارد.
* عمر کاری بیشتری نسبت به بسیاری از گیجهای دارای فیلامان دارد.
* آلودگی ناشی از تبخیر فیلامان ایجاد نمیکند.
کاربردهای گیج وکیوم PKR251
* سیستمهای پمپ توربومولکولی
* تجهیزات پوششدهی (PVD و CVD)
* صنایع نیمههادی
* دستگاههای آنالیز سطح
* تجهیزات تحقیقاتی و آزمایشگاهی
* سیستمهای عمومی وکیوم
مزایای گیج وکیوم PKR251
* اندازهگیری کل محدوده فشار با یک گیج
* عدم نیاز به تعویض گیج در محدودههای مختلف فشار
* سوئیچ خودکار بین سنسور پیرانی و کاتد سرد
* خروجی آنالوگ 0 تا 10 ولت برای اتصال به PLC و کنترلرها
* مقاومت مناسب در برابر آلودگی و شرایط صنعتی
* دقت و پایداری بالا در اندازهگیری فشار
